XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563
66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µｍ、Ｚ軸15µｍ動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
基本情報
・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ・センター開口部66 x 66mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-561・P-562・P-563 PIMars(TM) XYZピエゾシステム
用途／実績例
応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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PIMars XYZピエゾステージ「P-561・P-562・P-563」 短納期対応でのご提供が可能になりました。 PIMars XYZピエゾステージの主な特長は以下の通りです。 ・高精度モーションを容易に統合： 静電容量センサーにより、サブナノメートル単位の分解能、99.97%の直線性、長期安定性を実現。 優れたスキャン平坦度（Z方向の真直度と平坦度は±30 nm）とコンパクトな設置面積により、スペースが限られたセットアップでも正確な平面移動と容易なインテグレーションが可能。 ・多用途の光アクセス： 開口部は透過光やビームのアライメント作業をサポートし、フォトニクス・顕微鏡用途での柔軟な活用が可能です。 ・高い安定性： ゼロプレイのフレクシャガイドは、高い剛性と摩擦や摩耗のない動作を実現し、振動・衝撃・温度変化に対する堅牢性を維持。 幅広い応用分野に対応しており、 顕微鏡・ライフサイエンス分野、 フォトニクス・光学分野、 半導体・計測分野などになります。 詳細はぜひ、公式サイトからご覧ください！
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。