Piezo drive
Piezo drive
○ Piezo linear motor ○ Mechanism of various piezo motors ○ Piezo actuator with preload and guide ○ Piezo actuator components
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最大90µm動作の高精度プリロードピエゾ P-841
90 µmストロークと1000 N押力、µs応答でサブナノ分解能ポジショニング
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最大90µmストロークの高荷重プリロードピエゾP-844-845
3000 N押力/700 N引力、サブナノ分解能で90 µm可動、µs応答
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4500N高推力 ピエゾアクチュエータ P-216
スタティックとダイナミックのアプリケーションの為の高分解能。プリロード付きピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付
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30,000N高推力 ピエゾアクチュエータ P-235
プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付き
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多層PICMA(R)ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、耐湿性により長寿命
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P-0xx.xxH PICA(TM) Thruアクチュエータ
高負荷ピエゾスタックアクチュエータ、開口部あり。センター開口部の利点と、スタックアクチュエータの強度および発生力を兼ね備え
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50N推力 ナノポジショニングアクチュエータ N-111
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
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超音波モータ駆動のXY軸小型リニアステージ U-723
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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