ピエゾドライブ
ピエゾドライブ
○ピエゾリニアモーター ○各種ピエゾモーターの仕組み ○プリロード・ガイド付きピエゾアクチュエーター ○ピエゾアクチュエーターコンポーネント
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高荷重・高推力ピエゾアクチュエータ P-840
最大1000Nのプッシュフォースとマイクロ秒レベルの高速応答。コンパクト設計の高精度ピエゾアクチュエータ
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最大90µm動作の高精度プリロードピエゾ P-841
90 µmストロークと1000 N押力、µs応答でサブナノ分解能ポジショニング
最終更新日
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最大90µmストロークの高荷重プリロードピエゾP-844-845
3000 N押力/700 N引力、サブナノ分解能で90 µm可動、µs応答
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許容押力・最大4500N ピエゾアクチュエータ P-216
スタティックとダイナミックのアプリケーションの為の高分解能。プリロード付きピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付
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許容押力・最大30,000N ピエゾアクチュエータ P-235
プリロード付き高負荷ピエゾアクチュエータ（HVPZT）センサーオプション付き
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PICMA 積層ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、耐湿性により長寿命
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高負荷容量・マイクロ秒オーダーの応答速度のリング型アクチュエータ
性能劣化のない状態で長期間の使用が可能。高負荷ピエゾスタックアクチュエータ
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ナノ位置決めピエゾリニアアクチュエータ N-111
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
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高速・小型の高精度リニアモーター/アクチュエータ N-310
コンパクト・高速・長ストローク。コンパクトでコスト効率に優れた設計のリニアモーター/アクチュエーター
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超音波ピエゾモーター搭載 コンパクトXYステージ U-723
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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【ナノテクノロジー向け】高精度プリロードピエゾ P-841
90 µmストローク、サブナノ分解能ポジショニングを実現
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【光学調整向け】プリロード付きピエゾアクチュエータ P-841
90 µmストローク、µs応答、サブナノ分解能ポジショニング
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【精密測定向け】高精度プリロードピエゾ P-841
サブナノ分解能ポジショニングで精密測定の較正をサポート
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【半導体製造向け】高精度プリロードピエゾ P-841
サブナノ分解能ポジショニングで半導体製造を革新
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【光学分野向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、光学系の微調整に最適
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【ライフサイエンス向け】積層ピエゾ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、ライフサイエンス研究の精密操作を支援
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【顕微鏡向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、顕微鏡のフォーカス制御に最適
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【精密加工向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、過酷な環境下でも長寿命を実現
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【ナノテクノロジー向け】積層ピエゾ P-882・P-888
超高剛性、サブナノ分解能、耐湿性、長寿命を実現するピエゾアクチュエータ
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【光学向け】高荷重ピエゾP-844-845
サブナノ分解能でレンズ位置を精密調整
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【製造業向け】高荷重ピエゾP-844-845
最大90 µmストローク・高荷重対応、サブナノ精度のピエゾアクチュエータ
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【精密測定向け】高推力・ナノ精度 ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
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【ナノテクノロジー向け】4500N高推力 ピエゾアクチュエータ
ナノレベルの位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
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【光学向け】最大推力30,000N ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
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【研究開発向け】30,000N高推力 ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
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【半導体向け】精密位置決め・半導体技術・ウェハ検査に N-111
長距離ナノポジショニング用PiezoWalk(R)ドライブ。高分解能・コンパクト設計。
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【光学向け】高負荷容量リング型アクチュエータ PICA Thru
サブミリ秒応答、サブナノメートル分解能。ビーム制御に最適。
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