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N-111 NEXLINE OEMリニアモーター/アクチュエータ

長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク~5mm、 高分解能、および発生力~40Nでコンパクト

N-111 NEXLINE(R) OEMドライブは、ストローク~5mm、 高分解能、および発生力~40Nの、コンパクトなナノポジショニング用アクチュエータです。 【特徴】 ○ストローク:5mm ○分解能:0.025nm(オープンループ)と5nm(クローズドループ) ○プッシュプルフォース~40Nおよび60Nの保持力 ○静止時の自動ロック、発熱なし ○非磁性および真空対応の動作原理 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.pi-japan.jp/pztwalk.html

基本情報

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型番・ブランド名

N-111 NEXLINE(R)OEMリニアモーター/アクチュエータ

用途/実績例

応用例 ・半導体製造 ・半導体の試験 ・ウェハーの検査 ・ナノリソグラフィ ・ナノインプリント ・ナノ計測 ・アクティブ振動ダンピング ・強磁場での動作

【半導体製造・ウエハー検査】PiezoWalk(R)モーター/アクチュエータ

製品カタログ

取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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