50N推力 ナノポジショニングアクチュエータ N-111
長距離ナノポジショニング用のPiezoWalk(R)ドライブ。ストローク～5mm、 高分解能、および発生力～40Nでコンパクト
基本情報
【特徴】 ・ストローク：5mm ・分解能：0.025nm（オープンループ）と5nm（クローズドループ） ・プッシュプルフォース～40Nおよび60Nの保持力 ・静止時の自動ロック、発熱なし ・非磁性および真空対応の動作原理 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
10mm動作範囲、分解能5nmリニアエンコーダ内蔵、70Nの保持力
用途／実績例
応用例 ・半導体製造 ・半導体の試験 ・ウェハーの検査 ・ナノリソグラフィ ・ナノインプリント ・ナノ計測 ・アクティブ振動ダンピング ・強磁場での動作
カタログ（2）
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取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
