XYステージ
XYステージ
当社は、PIMag(R)磁気リニアモーターとPIglideエアベアリングの分野での自社開発製品を利用しています。当社の高荷重XYステージと平面スキャナーは、工業生産現場と品質管理に大きく貢献しています。
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PIMag リニアモータXY軸ステージ L-731
産医療産業、レーザー切断、走査などに！高精度位置決め可能なリニアモータステージ
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300mm高速XYエアベアリングプラナースキャナ A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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超音波ピエゾモーター搭載 コンパクトXYステージ U-723
サイズ42x42x21mm、22 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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【計測・検査向け】高精度回転ステージ V-62xシリーズ
開口付で高剛性と1µm未満の偏心と平坦度を持つ高速・高精度動作を実現
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【レーザー加工向け】ダイレクトドライブ高精度回転ステージ
開口付で高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現する高速・高精度回転ステージ
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【半導体検査向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで高速・高精度ウェーハ検査を実現
最終更新日
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【光学向け】エアベアリング A-311
エア浮上×リニアモータで摩耗ゼロ。最大速度2m/s、センサー分解能1nm
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【電子部品向け】エアベアリング A-311
エアベアリング×リニアモータによる非接触駆動。基板・部品検査の高速化と安定化に貢献
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モーションコントローラ A-81x PIglide 1〜4軸対応
1台で1～4軸、卓越した拡張性と省スペース性能を実現
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【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
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【計測・検査向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
摩擦ゼロの回転精度で、校正作業の精度向上に貢献
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【光学調整向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で光学系の調整をサポート
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ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ U-781 PILine
最大速度120mm/s、10nm分解能で高速・高精度走査を実現
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【新製品】X-365 高精度モジュラー式XYガントリーシステム
精度・剛性・柔軟性を兼ね備えたXY機構
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高負荷リニアモーターステージ V-D07｜1000N耐荷＆高精度
長寿命・高剛性設計｜高負荷環境でも精密でスムーズな動作を実現
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【レーザー微細加工向け】高負荷リニアモーターステージ V-D07
光学機器の調整作業を精密かつスムーズに。高精度リニアステージ
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【顕微鏡向け】高精度XY軸リニアモーターステージV-P01
顕微鏡観察・自動イメージング向け 高精度XYステージ V-P01
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高精度XY軸リニアモーターステージV-P01(精密位置決め対応)
高速・高加速度を実現する3相リニアモータ搭載。高精度スキャンに対応
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非接触エアベアリング技術採用の高精度回転モジュール A-60x
摩擦ゼロで超高精度回転を実現するエアベアリングモジュール
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【光学調整向け】XY多軸モーションシステム X-417
XY＋Z構成に対応する高精度多軸システム。用途に合わせて最適な構成が可能
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