ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
サブナノメートル分解能を実現するピーアイのピエゾナノポジショニングステージ。摩擦ゼロのフレクシャーガイドで高速・高精度位置決めを実現。
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
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【フォトニクス向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
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高速チップ/チルト ピエゾステージ S-331
動作角：±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック＆高分解能＆高速動作
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【顕微鏡走査向け】チップチルトピエゾプラットフォーム S-335
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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ミラーや光学素子向けの大偏向角ビームステアリング S-335
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
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小型XY軸ピエゾステージ P-620.2~P-629.2
最大1800µmの長ストロークとナノ精度で、微細な位置決めを実現
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開口56 mmつきXY軸ピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、共振周波数500 Hzで高速＆高精度動作を実現
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【顕微鏡向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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0.1 nm分解能 ピエゾナノアクチュエータ P-753
15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【光学調整向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【バイオテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
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【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
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0.1 nm分解能 ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能、耐荷重10Nの高速ピエゾステージ
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構成選択可・分解能最大0.2nmのリニアステージ P-611.1
低価格で、設置面積わずか44 x 44mmのコンパクトな、リニアポジショニングシステム
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PIHera 高精度Z軸ステージ P-620.Z～P-622.Z
0.1 nm分解能×0.02 %直線性。50-250 µmを摩擦ゼロで高速サーボ制御
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ダイレクト位置計測・クリアパーチャ対応 P-733Z
0.3nm分解能と高速応答を実現する高剛性ピエゾZステージ
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【半導体検査向け】P-725.xCDE2 フォーカススキャナ
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
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【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【バイオテクノロジー向け】P-725.xCDE2
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
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【ナノテクノロジー向け】対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
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最大800µm長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノの分解能をもち、最大800 µm動作、高速・高精度PIFOC(R)フォーカススキャナ
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【バイオテクノロジー向け】対物レンズピエゾステージ P-726
100 µmストローク、サブナノ分解能、210 g負荷時560 Hzの高応答フォーカススキャナ
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【光学向け】高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmストローク・0.4nm分解能 高荷重対物レンズ対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【ナノテクノロジー向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
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