【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726

ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ

最終更新日 2026年02月17日

対物レンズフォーカススキャナ｜重い高NA対物でも高速Z制御を維持

210g負荷時でも560Hzを維持し、共焦点・超解像顕微鏡の高速Zスキャンを安定化

最終更新日 2026年06月03日

【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ

最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御

最終更新日 2026年02月18日

最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308

多光子顕微鏡・半導体検査向け。深部観察時も安定した焦点精度を維持

最終更新日 2026年06月02日

【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308

最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現

最終更新日 2026年02月18日

【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ

最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸

最終更新日 2026年02月18日

【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ

細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ

最終更新日 2026年02月18日

ピエゾZステージ｜高速フォーカス制御で観察品質を維持

最大250µmストロークとミリ秒応答で、共焦点・蛍光顕微鏡のZ観察を高速化

最終更新日 2026年06月03日

【顕微鏡向け】P-737 試料フォーカシングZステージ

顕微鏡の高速フォーカシングを実現する高精度PIFOC Zステージ

最終更新日 2026年02月24日

【バイオテクノロジー向け】P-737 PIFOC Zステージ

ライブセル観察を支える高速・高分解能ピエゾZフォーカシングステージ

最終更新日 2026年02月24日

ピエゾZステージ｜高速Zスキャンでもフォーカス再現性を維持

100／200µmレンジと高速セトリングで、超解像・3D観察のピントズレを低減

最終更新日 2026年06月03日

【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ

最終更新日 2026年03月09日

【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー

最終更新日 2026年03月09日

【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ

最終更新日 2026年03月09日

【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ

最終更新日 2026年03月09日

【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616

半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー

最終更新日 2026年03月09日

XYZピエゾステージ｜高速3軸補正でも位置再現性を維持

0.4nm分解能と100µm XYZ動作により、光軸調整と微細走査を安定化

最終更新日 2026年06月03日

超小型XYZナノステージ｜0.2nm分解能で微細位置ズレを低減

44mmキューブ筐体で、フォトニクス・半導体装置への高密度組込みに対応

最終更新日 2026年06月03日

XYZナノポジショニング｜多軸動作でも軌道再現性を維持する機構

±1nm再現性と50mm開口で、マスク／ウェハ位置決めや透過光観察を安定化

最終更新日 2026年06月03日

【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2

再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー

最終更新日 2026年02月19日

【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2

再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー

最終更新日 2026年02月19日

【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563

プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ

最終更新日 2026年02月25日

XYZピエゾステージ｜大開口でも走査再現性を維持する機構

66mm開口とXYZ最大300µm動作により、透過光観察とウェハ位置決めを安定化

最終更新日 2026年06月22日

【精密加工向け】開口66mm ピエゾスキャナ P-517/527

摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ

最終更新日 2026年03月17日

【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527

摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上

最終更新日 2026年02月19日

【光学分野向け】開口部付多軸ピエゾスキャナー P-517/527

ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ

最終更新日 2026年03月17日

多軸ピエゾスキャナー｜大開口でも微細走査再現性を維持

66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減

最終更新日 2026年06月03日