ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
サブナノメートル分解能を実現するピーアイのピエゾナノポジショニングステージ。摩擦ゼロのフレクシャーガイドで高速・高精度位置決めを実現。
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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
最終更新日
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高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmのストローク、システム分解能0.4nm、荷重210g時でも560Hzの共振周波数
最終更新日
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【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
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【光学顕微鏡向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10nm動作、最大7mm移動、1kg対応。微細観察を支える高精度Z軸
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【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ
細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ
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P-737 PIFOC試料フォーカシングZステージ
顕微鏡標本用の薄型ロングストローク ピエゾZナノポジショナー。ストローク～250μm （500μmまでカスタマイズ可能）
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【顕微鏡向け】P-737 試料フォーカシングZステージ
顕微鏡の高速フォーカシングを実現する高精度PIFOC Zステージ
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【バイオテクノロジー向け】P-737 PIFOC Zステージ
ライブセル観察を支える高速・高分解能ピエゾZフォーカシングステージ
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Z軸顕微鏡用ピエゾZステージ P-736 PiNano
100µm／200µmレンジの高速フォーカス制御用ピエゾZステージ
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【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
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【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
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【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー
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ファイバーアライメント・走査型顕微鏡用ピエゾステージ P-616
各40mmサイズで、XYZ軸100µm動作のコンパクトXYZピエゾステージ
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ナノレベルの位置決めが求められる研究・産業用途に P-611.3
0.2nm分解能・超小型44mmキューブ。高速スキャンと高精度XYZナノポジショニングを実現
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高精度・高動特性を実現するパラレルキネマティクス P-733.2
再現性 ±1nm、XY軸100 µm＋Z軸10 µmストローク、50 mm開口で透過光にも最適
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
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【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563
プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
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XYZ軸300µm動作 精密位置決めステージ P-561~563
66 mm開口×XYZ軸最大300 µmをナノオーダーで精密位置決め
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【精密加工向け】開口66mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
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【光学分野向け】開口部付多軸ピエゾスキャナー P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
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開口66mm 多軸開口部付ピエゾスキャナー P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能
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