ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
ピエゾフレクシャステージ/高速スキャニングシステム
サブナノメートル分解能を実現するピーアイのピエゾナノポジショニングステージ。摩擦ゼロのフレクシャーガイドで高速・高精度位置決めを実現。
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
最終更新日
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
最終更新日
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【フォトニクス向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
最終更新日
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Tip/Tiltステージ｜ビーム位置ズレを抑えるピエゾ機構
10kHz共振による高速補正で、レーザー制御や光通信時のビーム位置ズレを低減
最終更新日
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【顕微鏡走査向け】チップチルトピエゾプラットフォーム S-335
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
最終更新日
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ビームステアリング｜ビーム位置安定性を維持するTip/Tilt
±5mradを3msで高速収束。レーザースキャニングや画像安定化時の照射位置ズレを低減
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XYピエゾステージ｜半導体検査時の位置再現性を維持する機構
±0.2nm双方向再現性により、ウェハ検査・マスクアライメントの位置ズレを低減
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XYピエゾスキャナ｜高速平面走査でも軌道平坦性を維持
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
最終更新日
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【顕微鏡向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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ピエゾナノアクチュエータ｜直進性を維持 0.1nm分解能ステージ
実可動部の直接計測により、干渉計・フォトニクス用途の微細位置ズレを低減
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【ナノテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【光学調整向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【バイオテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
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【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
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ナノポジショニングステージ｜軌道再現性を維持する0.1nm分解能
Pitch/Yaw ±1µradの高直進性で、干渉計・走査型顕微鏡の光軸ズレを低減
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小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
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ピエゾZステージ｜高速Z制御でもフォーカス再現性を維持
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
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ピエゾZステージ｜高速Z動作でも位置再現性を維持する高剛性機構
0.3nm分解能と直接位置計測により、共焦点顕微鏡や表面計測のZズレを低減
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【半導体検査向け】P-725.xCDE2 フォーカススキャナ
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
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【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【バイオテクノロジー向け】P-725.xCDE2
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
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【ナノテクノロジー向け】対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
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長ストロークZステージ｜厚み試料でも高速フォーカスを維持
最大800µmストロークにより、ライトシート・2光子顕微鏡の3D観察レンジを拡張
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【バイオテクノロジー向け】対物レンズピエゾステージ P-726
100 µmストローク、サブナノ分解能、210 g負荷時560 Hzの高応答フォーカススキャナ
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【光学向け】高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmストローク・0.4nm分解能 高荷重対物レンズ対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【ナノテクノロジー向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
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