ステアリングミラー
ステアリングミラー
ピエゾフレクシャミラープラットフォームの高剛性により、ハイダイナミクスと優れた位置決め安定性が実現します。レーザー加工やレーザービームステアリングにおけるビームの偏向に広く使用されています。
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【光学向け】大偏向角チップチルトピエゾステージ S-330
高速ステアリングミラー用途に最適な高ダイナミクスチップチルトステージ
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大偏向角・高ダイナミクスを実現ピエゾチップチルト S-330
高ダイナミック、大動作角のピエゾチップ／チルトプラットフォームにより高速のステアリングミラーが可能。
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
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【フォトニクス向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
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高速チップ/チルト ピエゾステージ S-331
動作角：±5 mrad (光学各10 mrad)、10 kHzの共振周波数により、ダイナミック＆高分解能＆高速動作
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【顕微鏡走査向け】チップチルトピエゾプラットフォーム S-335
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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ミラーや光学素子向けの大偏向角ビームステアリング S-335
±5 mrad×3 ms収束、10 kHz共振――0.1 µrad分解能の高速ビームステア
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