高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』
小型パッケージながら大きな偏向角が可能！歪みセンサによる高リニアリティ！幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現
『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な 高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。 独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現。 また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、 絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。 【特長】 ■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°) ■歪みセンサによる高リニアリティ ■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■すぐれた動き特性による大きなチップ／チルトレンジ ■サブマイクロラジアンの分解能 ■高い信頼性と長寿命 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■画像処理 ■インターレーシング、ディザリング ■レーザースキャニング／ビームステアリング ■光学 ■光学フィルター／スイッチ ■走査型顕微鏡 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
