リニアステージ
リニアステージ
当社では、モーター駆動リニアステージを幅広く取りそろえています。トラベルレンジは数ミリメートルからメートル単位にまで及び、精度クラスはナノメートルからマイクロメートルとなります。用途の条件に応じて各ドライブ、ガイド、センサー技術をカスタマイズしています。
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リニア・回転ステージと組み合わせ可 高精度Zステージ L-310
工業、研究分野の精密ポジショニングに！高デューティサイクルのZステージ
最終更新日
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DCまたはステッピングモーター搭載 リニアステージ L-505
リミットスイッチ内蔵！DCステッピングモータ付きコンパクトリニアステージ
最終更新日
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超音波ピエゾモータ搭載の小型リニアステージ U-521
サイズ35x35x15mm、18 mm動作量、最大速度200 mm/s、電源オフ時はセルフロックで位置保持
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高い動的性能と精度の分野に リニアステージ『V-408』
アイロンコア3相リニアモータ！駆動力を摩擦プラットフォームに伝達するコンパクト設計のPIMag リニアステージ
最終更新日
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クリアアパーチャ設計 高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
最終更新日
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高耐荷重リニアステージ『L/V-412,L/V-417』
最大トラベルレンジは813mm！循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
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光学用位相シフター S-312
光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
最終更新日
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【半導体検査向け】高精度位置決めに最適 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【光学アライメント向け】クリーンルーム環境での使用可 A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
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【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
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【光学向け】光学用位相シフター S-312
光学・干渉計向け 位相制御用オープンループZステージ
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【研究開発向け】光学用位相シフター S-312
干渉計・光学位相制御用オープンループZステージ
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【バイオテクノロジー向け】V-308フォーカスステージ
細胞観察・深部イメージングの精度を高める — ナノ精度Z軸フォーカスステージ
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【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
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最大1kgの重力補正 ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小動作10nmで、最大7mm移動、1kgまでの無電源保持 微細観察を支える高精度Z軸
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【レーザー加工向け】V-308 高精度Z軸フォーカスステージ
最小10 nm分解能。レーザー加工ヘッドの高精度Z軸フォーカス制御
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【研究開発向け】自動化技術分野に適したリニアステージ V-408
アイロンコア3相リニアモータ搭載、高精度位置決めを実現するリニアステージ
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【顕微鏡向け】高精度位置計測を実現する小型リニアステージ
マイクロマニピュレーションに適した小型リニアステージ
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高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ N-332
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
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【半導体製造向け】B-421BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
最大33mmストローク、半導体装置向け超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【光学調整向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
光学系の精密アライメントに対応する超小型ピエゾ駆動リニアステージ
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【半導体技術向け】PIHera XYピエゾステージ
最大1800µmの長ストロークとナノ精度。独自の静電容量センサーで、物理的接触をせずに位置測定
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【半導体検査装置向け】最大荷重10kg・Zステージ L-310
ウェーハ検査・チップ検査のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【光学調整・光学アライメント向け】高精度Zステージ L-310
光学アライメント・フォーカス調整に。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【研究開発向け】高精度Zステージ L-310
顕微鏡・光学実験・精密測定のZ軸位置決めに。高剛性クロスローラーガイド採用の精密Zステージ
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【精密測定装置向け】耐荷重10 kg・高精度ZステージL-310
高剛性クロスローラーガイド採用。精密測定・研究用途のZ方向位置決めに最適
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【医療機器向け】高精度位置計測に最適なリニアステージ L-505
精密検査の精度向上に貢献する、DCステッピングモータ付きリニアステージ
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【電子機器製造向け】モーター選択可 リニアステージ L-505
小型・高剛性設計と選べるモーター（DCモーターまたはステッピングモーター）で、組立工程の効率化と安定化に貢献
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【研究開発向け】高精度Z軸ボイスコイルモーターステージV-Z03
高速応答＆高剛性で、サブミクロン単位の精密Z軸制御を実現
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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03｜精密高剛駆動
高速応答＆高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
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