クリアアパーチャ設計 高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm。XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s。コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作を実現しています。 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 非接触式の光学式リニアエンコーダにより、プラットフォーム上で位置を直接かつ高精度に測定します。非線形性、機械的バックラッシュ、弾性変形の影響を受けません。 詳細な製品仕様についてはカタログからご確認いただけます。ご質問などございましたら、ぜひお問い合わせください。
基本情報
【特長】 ■移動範囲：102 mm×102 mm（4 "） ■150x150mmの大きな開口部 ■一方向再現性：0.1μm ■速度：500 mm/s ■三相リニアモータ ■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ 【技術データ（抜粋）】 ■トラベルレンジ：102×102mm ■内蔵センサ：Incremental linear encoder ■設計分解能：0.001μm ■センサ信号：Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period ■リファレンスリミットスイッチ：光学式 ■ガイド：Recirculating ball bearing ■モータタイプ：アイロンレス3相リニアモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
V-738 高精度XYステージ
用途／実績例
【応用分野】 ■医療産業 ■レーザー切断 ■スキャニング ■バイオテクノロジー ■計測学 ■AOI（自動光学検査） ■顕微鏡検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。