高発生力＆高精度ピエゾリニアステージ N-332
ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ
・トラベルレンジ：25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応：XY、XZ、XYZ ・真空対応
基本情報
＜PICMAWalkドライブによるナノメーター精度と高い送り力＞ 複数のピエゾアクチュエータがランナーの送りに繋がる歩行運動を行います。アクチュエータの制御により、ナノメーター分解能で最小のステップと移動送りを可能にします。他のピエゾモーター駆動方式とは対照的に、PICMAWalkウォーキングドライブは滑り摩擦の影響を受けません。これは、ランナーに沿ってステップする複数のピエゾアクチュエーターのスティクション接触に基づいています。静止時には、PICMAWalkウォーキングドライブはセルフロックされ、エネルギーを消費せず、熱も発生しません。
価格帯
納期
型番・ブランド名
N-332 リニアステージ
用途／実績例
アプリケーション分野 ・ライフサイエンスおよび半導体製造における走査型電子顕微鏡（SEM）および透過型電子顕微鏡（TEM） ・超解像度顕微鏡、特に4Pi顕微鏡 ・ナノインデンテーション
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。