Z軸ステージ（半導体検査／0.035µm補正）高精度フォーカスに
光学測定・半導体検査向け。高剛性Z軸制御で高倍率観察時の焦点ズレを低減
V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。
基本情報
・トラベルレンジ：5mm ・光学式リニアエンコーダー ・高剛性、低pitch/yaw ・最大荷重：150N ・セルフロック機能付 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03
用途／実績例
・産業・研究分野での精密位置決め ・半導体検査等 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。