光学用位相シフター S-312
光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)
基本情報
・ストローク：0μm～15μm ・5つの開口サイズから選択可能：53 mm～311 mm ・オプションドライバによりチップチルトの補正も可能 その他の詳しい内容は、お問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
詳しい内容は、お問い合わせください。
納期
型番・ブランド名
S-312
用途／実績例
・干渉計 ・光学部品
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取り扱い会社
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