【半導体向け】V-62xシリーズ 高精度回転ステージ
開口付、高剛性、1µm未満の偏心と平坦度を実現
半導体製造業界では、ウェーハやマスクなどの精密な位置決めが、製品の品質と歩留まりを左右する重要な要素です。特に、微細加工技術の進展に伴い、より高い精度と安定性が求められています。位置決めの精度が低いと、加工不良やデバイスの性能低下につながる可能性があります。ダイレクトドライブ高精度回転ステージ V-62xシリーズは、優れた回転精度と微小なティルトエラーを実現し、高度なアライメントや回転制御を可能にします。 【活用シーン】 ・ウェーハプロービング ・マスクアライメント ・レーザー加工 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・高速・高精度動作による生産性向上 ・幅広い分野への対応
基本情報
【特長】 ・ダイレクトドライブによる効率的な動的性能 ・モーションプラットフォーム 直径85 mm、110 mm、210 mm ・偏芯および平面度 < 1 μm ・薄型 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な精密位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器も提供し、複合システムのご提案も可能です。
価格帯
納期
型番・ブランド名
V-62x High-Precision Rotation Stage with Direct Drive
用途／実績例
・サンプル検査 ・精密マイクロアセンブリ ・研究 ・バイオテクノロジー ・半導体検査・測定 ・オートメーション ・デバイス組立 ・レーザー微細加工 ・センサー校正とテスト ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。