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<新製品>高発生力&高精度ピエゾリニアステージ N-332

ピエゾWalk駆動による、ストローク25mm以上のリニアステージ

・トラベルレンジ:25mmと50mmタイプ ・75 N のアクティブフォース ・3 nm ミニマムインクリメンタルモーション ・電源オフ時のセルフロッキング ・多軸セットアップ対応:XY、XZ、XYZ ・真空対応

関連リンク - https://www.pi-japan.jp/ja/expertise/technology/pi…

基本情報

<PICMAWalkドライブによるナノメーター精度と高い送り力> 複数のピエゾアクチュエータがランナーの送りに繋がる歩行運動を行います。アクチュエータの制御により、ナノメーター分解能で最小のステップと移動送りを可能にします。他のピエゾモーター駆動方式とは対照的に、PICMAWalkウォーキングドライブは滑り摩擦の影響を受けません。これは、ランナーに沿ってステップする複数のピエゾアクチュエーターのスティクション接触に基づいています。静止時には、PICMAWalkウォーキングドライブはセルフロックされ、エネルギーを消費せず、熱も発生しません。

価格帯

納期

用途/実績例

アプリケーション分野 ・ライフサイエンスおよび半導体製造における走査型電子顕微鏡(SEM)および透過型電子顕微鏡(TEM) ・超解像度顕微鏡、特に4Pi顕微鏡 ・ナノインデンテーション

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取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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