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高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03|精密高剛駆動

高速応答&高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現

V-Z03は、ボイスコイルモータによるダイレクトドライブ方式で、高速かつ高精度なZ軸制御を実現。 高剛性クロスローラーガイドとリニアエンコーダにより、最小0.035µmの微細動作が可能。 最大荷重150Nに対応し、セルフロック機能や空圧カウンターバランスを搭載。 半導体製造や精密測定など、要求の厳しい分野で優れた性能を発揮します。

関連リンク - https://www.pi-japan.jp/ja/products/linear-stages/…

基本情報

・トラベルレンジ:5mm ・光学式リニアエンコーダー ・高剛性、低pitch/yaw ・最大荷重:150N ・セルフロック機能付 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

・産業・研究分野での精密位置決め ・半導体検査等 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03

製品カタログ

取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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