高精度Z軸ボイスコイルモーターステージ V-Z03|精密高剛駆動
高速応答&高剛性ガイドで、サブミクロンの精密Z軸制御を実現
基本情報
・トラベルレンジ:5mm ・光学式リニアエンコーダー ・高剛性、低pitch/yaw ・最大荷重:150N ・セルフロック機能付 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
・産業・研究分野での精密位置決め ・半導体検査等 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。