【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817

リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答

最終更新日 2026年03月12日

リニアステージ（高速スキャン／高精度位置決め）AOI工程向け

最大50m/s²加速により高速検査工程でも安定したスキャン再現性を実現

最終更新日 2026年06月02日

【計測向け】最大800mmストローク リニアステージ V-855

0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現

最終更新日 2026年03月12日

【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855

高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化

最終更新日 2026年03月12日

【電子部品実装向け】最大800mmリニアステージ V-855

高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ

最終更新日 2026年03月12日

長時間運転の位置再現性を維持するリニアステージ

±0.15µm再現性と高安定構造により、光学アライメントやレーザー加工工程に対応

最終更新日 2026年06月06日

【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03

高速・高精度なZ軸制御で、半導体検査の品質と効率を向上

最終更新日 2026年03月18日

高精度スピンドル駆動 モジュール型精密リニアステージ

高精度・高剛性を実現するスピンドル駆動。用途に応じて柔軟に構成可能なモジュール型リニアステージ

最終更新日 2026年05月08日

高精度アライメント対応 スピンドル駆動式ゴニオメーターステージ

マイクロコンポーネントの配置や光学部品のアライメントに

最終更新日 2026年05月13日