リニアステージ
リニアステージ
当社では、モーター駆動リニアステージを幅広く取りそろえています。トラベルレンジは数ミリメートルからメートル単位にまで及び、精度クラスはナノメートルからマイクロメートルとなります。用途の条件に応じて各ドライブ、ガイド、センサー技術をカスタマイズしています。
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【光学調整向け】最大600Nの高荷重リニアステージ V-817
リニアモータ×高精度エンコーダで高荷重600Nでも滑らか・高速応答
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最高速度4m/s・高精度位置決め用途 リニアステージ V-855
0.1 µmの最小インクリメンタルモーションで、無負荷時の最大速度4000mm/秒、最大加速度50 m/s²、耐荷重600N
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【計測向け】最大800mmストローク リニアステージ V-855
0.1 µm分解能と最高4 m/sの高速動作で高精度測定を実現
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【研究開発向け】800mmリニアモーターステージ V-855
高速4 m/s×高分解能で研究開発の位置決めを高精度化
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【電子部品実装向け】最大800mmリニアステージ V-855
高速・高精度搬送を実現する最大800mmストロークのリニアモーターステージ
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高い移動精度と耐荷重性を備えたリニアステージ L-511
幅広い応用分野に対応した高精度リニアステージ
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【半導体検査向け】高剛性・高精度Zステージ V-Z03
高速・高精度なZ軸制御で、半導体検査の品質と効率を向上
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