【半導体製造向け】ボイスコイルフォーカスステージ V-308
最小10 nm分解能、最大7 mmストローク。半導体装置の高精度Z軸フォーカス制御を実現
半導体製造分野では、微細化の進展に伴い、検査・計測・露光工程におけるZ軸方向の高精度位置制御がますます重要になっています。焦点位置のわずかな変動が、検査精度やプロセス安定性に影響を及ぼす可能性があります。V-308 Voice Coil PIFOCは、最小10 nm分解能と最大7 mmの移動範囲を備えたZ軸フォーカスドライブです。最大1 kgまでの重力補償機能により、重量のある光学系や対物レンズでも安定した位置決めを実現。ダイレクトドライブ方式により、滑らかで高速な応答性と高い再現性を提供し、半導体製造装置の精密フォーカス制御をサポートします。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査装置のオートフォーカス制御 ・光学計測装置のZ軸位置決め ・マスク検査装置のフォーカス補正 ・微細パターン検査工程 【導入の効果】 ・ナノレベルのフォーカス制御による検査精度向上 ・重量補償機能による光学系の安定保持 ・高速応答による検査スループット改善 ・プロセス安定性の向上
基本情報
【特長】 ・調整可能なトラベルレンジ 7 mm ・ハイダイナミクスダイレクトドライブ ・1kgまでの重量補正機能を内蔵（ユーザーによる調整も可能） ・最小インクリメンタル・モーション 10 nm ・クロスローラーガイド ・対物レンズホルダーなど好適なオプションアクセサリー 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適な精密位置決めソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、グラナイト定盤などの周辺機器も提供し、お客様のシステム構築をサポートします。
価格帯
納期
型番・ブランド名
V-308ボイスコイルPIFOC
用途／実績例
顕微鏡：多光子蛍光顕微鏡、深部組織検査、デジタルスライドスキャン顕微鏡 バイオテクノロジー：Solexa-Illumina法によるゲノムシークエンス、 Immuno-Assay蛍光 医療機器：眼科スキャニングレーザー、自動細胞計数機/フローサイトメーター バイオメディカルリサーチ：光・磁気ピンセット レーザー材料加工：レーザー微細加工、レーザーアブレーション 半導体産業： 半導体/ウェハー検査
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。