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P-620.2〜P-629.2 PIHera(R)シリーズは、長寿命のPICMA(R)アクチュエータを採用したXY軸ピエゾナノポジショニングステージです。 静電容量式センサーを用いたクローズドループ制御により、優れた直線性と安定性を両立。 1nm以下の高分解能、±0.2nmの双方向再現性を提供し、品質保証試験や半導体検査など高信頼性が要求される現場でも安心して利用可能。 筐体は極めて小型で、装置組込みにも最適です。

・50 ～ 1800μm のストローク ・無摩擦のない高精度なフレクシャガイドシステム ・PICMA(R)ピエゾアクチュエータによる長寿命 ・X、XY、Z、XYZ の各バージョンがあります ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

・干渉計における位相シフト制御 ・共焦点／原子間力顕微鏡のサンプル位置調整 ・ナノスケールでのアライメントおよびスキャン制御 ・フォトニクス素子の精密位置決め・アセンブリ ・半導体パターン検査および品質保証工程 ・光学・バイオ分野のトラッキング／アクティブ安定化ステージ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。