ピエゾモーター
ピエゾモーター
小型ながら高出力を実現し、長ストロークの高精度位置決めが可能なピエゾモーター。高速応答・高分解能を特長とし、精密位置決めやナノレベル制御に最適です。
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中空ロータリーステージ|光路を塞がず角度再現性を維持する小型機構
中央開口構造によりレーザー・顕微鏡光路を確保しながら、高速回転位置決めを実現
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薄型回転ステージ|光学アライメント品質を維持するピエゾ駆動
高さ14mm・中央開口付き。レーザー・光学系の角度位置決めを省スペースで実現
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小型XYステージ|微細サンプルの位置再現性を維持するピエゾモータ
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
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【バイオテクノロジー向け】P-725.xCDE2
サブナノ分解能・Z方向最大800 µmストローク対応 フレクシャ機構搭載フォーカススキャナ
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【光学調整向け】超音波ピエゾモータ搭載XYステージ U-723
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【光学調整向け】超音波モータ駆動小型回転ステージ U-628
サイズ50x50x19mm、無限回転、最大720°/s、電源OFF時セルフロック
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【光学計測向け】ピエゾモータ駆動薄型高速回転ステージ U-651
高さ14 mm、φ36 mm開口、光学系の微調整に最適
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【マイクロマニピュレーション向け】薄型回転ステージ U-651
高さ14 mmの薄型、φ36 mmの開口、顕微鏡走査に最適
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【ライフサイエンス向け】N-332 ピエゾリニアステージ
細胞観察における高精度位置決めを実現するリニアステージ
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【研究開発向け】B-421 BIX 小型ピエゾ駆動リニアステージ
研究開発用途に対応|最大33mmストロークの超小型ピエゾステージ
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XYピエゾステージ|半導体検査時の位置再現性を維持する機構
±0.2nm双方向再現性により、ウェハ検査・マスクアライメントの位置ズレを低減
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【光学調整向け】リニアアクチュエータ N-472
慣性駆動と位置フィードバックで長期安定の光学微調整
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光学アライメントの位置ズレを抑えるリニアアクチュエータ
レーザー光路や光学ミラーの微調整後も、長時間安定した位置保持を実現
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【顕微鏡フォーカス向け】リニアアクチュエータN-472
慣性駆動と位置フィードバックで顕微鏡フォーカスを長期安定化
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光学ミラー調整の再現性を維持するリニアアクチュエータ
チップ・チルト調整後の位置ズレを抑え、真空環境でも長時間安定保持
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【顕微鏡向け】フォーカス調整に リニアアクチュエータ N-470
最大13 mmストロークで顕微鏡フォーカスを精密制御
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【光学調整向け】微細調整に最適なリニアアクチュエータ N-470
ミラー・光学素子の微細調整に最適な高保持力コンパクトアクチュエータ
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【半導体向け】ピエゾナノ位置決めアクチュエータ N-216
最大800Nの保持力と5nm分解能を実現。半導体製造装置の高精度位置決めを支える高推力ピエゾドライブ
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