0.1 nm分解能 ピエゾナノアクチュエータ P-753
15–38 µmストローク、0.1 nm分解能、小型高速応答ピエゾステージ
P-753 は、15〜38 µmの移動量を0.1 nm分解能で制御する1軸ピエゾナノポジショニングステージです。 実可動部を実測する、2電極型静電容量センサーとフレクシャガイドによる摩擦ゼロ構造により、ナノメートル動作と、数 msecでの位置決めを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
基本情報
・汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・真空対応および非磁性バージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-753 LISA Linear Actuator and Positioning Stage
用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
カタログ（5）
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。