【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
基本情報
【特長】 ・汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・真空対応および非磁性バージョンを用意 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と技術力で、お客様の精密位置決めニーズにお応えします。ピエゾステージ＆アクチュエータをはじめ、リニアモータ駆動製品や高精度エアベアリングステージなど、幅広い製品ラインナップをご提供し、最適なソリューションをご提案します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-753 LISA Linear Actuator and Positioning Stage
用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。