【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
精密測定分野では、校正や微小位置補正において、ナノメートルレベルの分解能と高い再現性が求められます。P-753 LISAは、15～38 µmのストローク（モデルによる）と最小0.1 nmの分解能（適切なコントローラ使用時）を備えたリニア・ピエゾステージです。フレクシャガイド構造により、摩擦やバックラッシュのない滑らかな動作を実現します。測定器の校正工程や微小変位制御用途において、安定したナノポジショニングを提供します。 【活用シーン】 ・精密測定機器の校正 ・センサー評価における微小位置調整 ・変位・位置計測系の基準移動 ・光学式測定システムの微調整 【導入の効果】 ・ナノメートルレベルの位置決め分解能 ・バックラッシュのない高再現性動作 ・微小変位制御の安定化 ・コンパクト設計による装置組込み適性
基本情報
【特長】 ・汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ ・分解能0.05nm、高速応答 ・静電容量センサーによる高リニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・真空対応および非磁性バージョンを用意 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と技術力で、お客様の精密位置決めニーズにお応えします。ピエゾステージ＆アクチュエータをはじめ、リニアモータ駆動製品や高精度エアベアリングステージなど、幅広い製品ラインナップをご提供し、最適なソリューションをご提案します。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P-753 LISA Linear Actuator and Positioning Stage
用途／実績例
応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。