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P-734はパラレルキネマティクス構造によるXY軸ナノポジショニングステージです。 高精度フレクシャーガイドと静電容量式センサにより、0.3 nmシステム分解能と0.03 %リニアリティを実現。 動作量は100 µm×100 µmで、耐荷重は20N。 56 mm×56 mmの大開口により、光学顕微鏡などにも最適。 半導体マスク位置決め、走査型顕微鏡、表面粗さ計測など“平面度×高速”が求められる装置に最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

【特徴】 ・表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ・パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御 ・ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ・静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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応用例 ・走査型顕微鏡 ・各種計測／干渉計 ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・画像処理／安定化 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション ・ナノポジショニング