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P-734 XY ピエゾスキャナ

振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、 サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、 100 x 100μmのリニアストロークを実現します。 【特徴】 ○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御 ○パラレル制御/計測による応答性の向上/多軸の精密制御 ○ストローク:100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部 ○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現 ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.pi-japan.jp/pztstg.html

基本情報

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用途/実績例

応用例 ・走査型顕微鏡 ・各種計測/干渉計 ・半導体試験 ・マスク/ウェハー位置決め ・画像処理/安定化 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション ・ナノポジショニング

取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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