【半導体製造向け】エアベアリング回転ステージ A-62x
ナノレベルの精度で、半導体製造プロセスを革新。
半導体製造業界では、高精度な位置決めが歩留まりと製品品質を左右する重要な要素です。特に、ウェーハの検査や露光工程においては、ナノメートル単位の正確な位置決めが求められます。従来の回転ステージでは、摩擦による微小なブレや偏心が発生し、これが品質低下の原因となる可能性があります。PIglide A-62xシリーズは、摩擦のないエアベアリング技術により、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・ウェーハ検査 ・露光装置 ・精密測定 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる歩留まり向上 ・製品品質の安定化 ・生産性の向上
基本情報
【特長】 ・摩擦ゼロの非接触回転 ・平面度・偏心率200nm以下 ・トルクモーターと絶対値エンコーダによる迅速な位置決め ・クリーンルーム対応 ・水平・垂直設置可能 【当社の強み】 ドイツ本社50年以上の実績と、日本法人30年の経験に基づき、お客様のニーズに最適なソリューションを提供します。ピエゾステージをはじめ、幅広い製品ラインナップと、専門的な技術サポートで、お客様の課題解決を支援します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
A-62x PIglide RM Rotation Stage with Air Bearings
用途／実績例
・精密光学部品のアライメント調整 ・測定機器における高精度回転ステージとして ・光通信部品の検査工程 ・画像センサーのキャリブレーション装置 ・ウエハーや光学素子の等速回転スキャン ・クリーンルーム内でのナノ精度位置決め ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。