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N-310 NEXACT OEMミニチュアリニアモーター

コンパクトで高速なPiezoWalk(R)ドライブ。20mmの標準ストローク!コンパクトでコスト効率に優れた設計

N-310 NEXACT(R) PiezoWalk(R)リニアドライブは、 わずか25 x 25 x 12mmのコンパクトなパッケージに、 20mmのストロークと10Nのプッシュプルフォースの性能を備えています。 【特徴】 ○20mmの標準ストローク ○コンパクトでコスト効率に優れた設計 ○0.03nmの分解能 ○プッシュプルフォース~10N ○低動作電圧 ○静止時の自動ロック、発熱なし、ナノメートル精度の安定性 ○非磁性および真空対応の動作原理 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.pi-japan.jp/pztwalk.html

基本情報

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型番・ブランド名

N-310 NEXACT(R) OEMミニチュアリニアモーター/アクチュエータ

用途/実績例

応用例 ・半導体製造 ・ウェハーの検査 ・ナノリソグラフィ ・表面測定手法 ・側面計測 ・顕微鏡による検査 ・強磁場での動作

【半導体製造・ウエハー検査】PiezoWalk(R)モーター/アクチュエータ

製品カタログ

取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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