ピエゾドライブ
ピエゾドライブ
○ピエゾリニアモーター ○各種ピエゾモーターの仕組み ○プリロード・ガイド付きピエゾアクチュエーター ○ピエゾアクチュエーターコンポーネント
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高推力ピエゾアクチュエータ｜高荷重でも微細補正品質を維持する機構
1000N押力とµs応答により、高剛性機構のリアルタイム位置補正を実現
最終更新日
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プリロードピエゾ｜長期連続駆動でも位置再現性を維持する機構
SGSセンサによるドリフト補正で、光ファイバーやレーザー光学系の微細調整を安定化
最終更新日
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高荷重ピエゾアクチュエータ｜高荷重下でも位置再現性を維持する機構
3000N押力とサブナノ分解能により、高剛性機構の微細位置補正を高速化
最終更新日
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高推力ピエゾアクチュエータ｜高速ナノ補正を維持する機構
Push4500Nとサブミリ秒応答により、振動補正と光学位置制御を高速化
最終更新日
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高荷重ピエゾアクチュエータ｜30,000Nでもナノ制御を維持
µs応答とサブナノ分解能により、大型構造物の振動補正と高荷重位置決めを安定化
最終更新日
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積層ピエゾアクチュエータ｜過酷環境でも位置再現性を維持
UHV対応・耐湿構造により、真空・高温環境下でもナノ位置決めと高速補正を安定化
最終更新日
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高負荷容量・マイクロ秒オーダーの応答速度のリング型アクチュエータ
性能劣化のない状態で長期間の使用が可能。高負荷ピエゾスタックアクチュエータ
最終更新日
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長時間計測の位置再現性を維持するピエゾアクチュエータ
5nm分解能と無通電ロックにより、ウェーハ検査やナノ計測時の熱ドリフトを抑制
最終更新日
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ウェーハ検査の測定再現性を高めるリニアモータ
非接触リニアエンコーダにより、バックラッシュ由来の位置誤差を低減
最終更新日
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小型XYステージ｜微細サンプルの位置再現性を維持するピエゾモータ
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】高精度プリロードピエゾ P-841
90 µmストローク、サブナノ分解能ポジショニングを実現
最終更新日
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【光学調整向け】プリロード付きピエゾアクチュエータ P-841
90 µmストローク、µs応答、サブナノ分解能ポジショニング
最終更新日
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【精密測定向け】高精度プリロードピエゾ P-841
サブナノ分解能ポジショニングで精密測定の較正をサポート
最終更新日
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【半導体製造向け】高精度プリロードピエゾ P-841
サブナノ分解能ポジショニングで半導体製造を革新
最終更新日
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【光学分野向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、光学系の微調整に最適
最終更新日
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【ライフサイエンス向け】積層ピエゾ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、ライフサイエンス研究の精密操作を支援
最終更新日
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【顕微鏡向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、顕微鏡のフォーカス制御に最適
最終更新日
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【精密加工向け】ピエゾアクチュエータ P-882・P-888
超高剛性×サブナノ分解能、過酷な環境下でも長寿命を実現
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】積層ピエゾ P-882・P-888
超高剛性、サブナノ分解能、耐湿性、長寿命を実現するピエゾアクチュエータ
最終更新日
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【光学向け】高荷重ピエゾP-844-845
サブナノ分解能でレンズ位置を精密調整
最終更新日
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【製造業向け】高荷重ピエゾP-844-845
最大90 µmストローク・高荷重対応、サブナノ精度のピエゾアクチュエータ
最終更新日
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【精密測定向け】高推力・ナノ精度 ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】4500N高推力 ピエゾアクチュエータ
ナノレベルの位置決めを実現する高分解能ピエゾアクチュエータ
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【光学向け】最大推力30,000N ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
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【研究開発向け】30,000N高推力 ピエゾアクチュエータ
ナノレベル位置決めを実現する高推力ピエゾアクチュエータ
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【半導体向け】精密位置決め・半導体技術・ウェハ検査に N-111
長距離ナノポジショニング用PiezoWalk(R)ドライブ。高分解能・コンパクト設計。
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【光通信向け】高速チップ/チルトピエゾステージ S-331
10 kHzの高速応答。高分解能2軸Tip/Tiltで光通信のビーム制御を高度化
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【レーザー加工向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
10 kHzの高速応答でビームを精密制御。レーザー加工向けTip/Tiltステージ
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【光学調整向け】超音波ピエゾモータ搭載XYステージ U-723
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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