ピエゾポジショニングシステム
ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー１～６軸 ○顕微鏡用Ｚ軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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【半導体向け】0.1nm分解能 小型X軸ピエゾステージ
半導体製造における高精度位置決めを実現。素早く正確な整定動作
最終更新日
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【ナノポジショニング向け】0.1nm分解能小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高リニアリティで、ナノレベル計測を安定化。
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】PIHera 小型X軸ピエゾステージ
0.1nm分解能と高安定制御でやさしいナノ位置決め。
最終更新日
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【半導体ウェーハ検査向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ウェーハ検査の高スループット化を支える 高荷重対応・高精度Zフォーカススキャナ
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】対物レンズピエゾステージ P-726
100 µmストローク、サブナノ分解能、210 g負荷時560 Hzの高応答フォーカススキャナ
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】レンズフォーカススキャナ P-726
ナノ構造解析を支える 高荷重対応・サブナノ分解能フォーカススキャナ
最終更新日
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【光学向け】高荷重対物レンズフォーカススキャナ P-726
100 µmストローク・0.4nm分解能 高荷重対物レンズ対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
最終更新日
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【半導体向け】PIHera高精度Z軸ステージ 0.1 nm分解能
サブナノメートルの分解能を提供。0.1nm分解能・高リニアリティ垂直ポジショニング
最終更新日
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【ナノポジショニング向け】高精度Zステージ 0.1nm分解能
0.1nm分解能と0.02%リニアリティ。サブナノZ軸制御で製造・計測精度を向上
最終更新日
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【光学分野向け】開口50mmピエゾスキャナ P-517/527
ナノレベルの位置決めを実現する、摩擦ゼロのマルチ軸ピエゾスキャナ
最終更新日
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【精密加工向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。ナノ精度で微細加工を支える高性能スキャナ
最終更新日
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【計測向け】開口50mm ピエゾスキャナ P-517/527
摩擦ゼロのフレクシャガイド一体構造。高再現性ナノポジショニングで校正精度を向上
最終更新日
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【光学調整向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルの調整を実現する、開口部付きピエゾステージ
最終更新日
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【顕微鏡走査向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージP-5x8
高倍率観察を支えるナノレベル走査。66mm開口のZ・チップチルトピエゾステージ
最終更新日
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【精密測定向け】Zチップチルト開口部付ピエゾステージ P-5x8
ナノレベルのZ・チップチルト制御を実現。66mm開口の高精度ピエゾステージ
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【半導体製造向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
半導体装置の微細位置補正に。100 µm × 3軸ナノポジショナー
最終更新日
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【光学向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
100 µm × 3軸。光学アライメントをナノ精度で実現するコンパクトXYZピエゾステージ
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
ナノスケール位置制御を支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
最終更新日
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【レーザー加工向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
微細レーザー加工の焦点・位置制御を支える、100 µm × 3軸ナノポジショナー
最終更新日
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【顕微鏡向け】XYZ軸ピエゾステージ P-616
高倍率観察をナノメートル分解能で支える、100 µm × 3軸コンパクトXYZピエゾステージ
最終更新日
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【顕微鏡向け】PIMars XYZ軸開口部付ピエゾステージ
顕微鏡の試料位置決めをナノ精度で実現するPIMars XYZナノステージ
最終更新日
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【計測向け】XYZ軸精密位置決めステージ P-561~563
プローブ位置決めをサブナノ精度で実現するPIMars精密ナノステージ
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【顕微鏡走査向け】S-335チップ/チルトピエゾプラットフォーム
±35 mradの高角度制御と高速応答を実現するピエゾチップ/チルトプラットフォーム
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【半導体検査向け】50N高推力・真空仕様有りのアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。半導体検査工程に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ。
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【光学調整向け】高推力PICMAWalkアクチュエータ
最大12 mm/s・50 N高推力。光学調整に最適なサブナノ分解能PICMAWalkアクチュエータ
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【バイオテクノロジー向け】P-737 PIFOC Zステージ
ライブセル観察を支える高速・高分解能ピエゾZフォーカシングステージ
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【顕微鏡向け】P-737 試料フォーカシングZステージ
顕微鏡の高速フォーカシングを実現する高精度PIFOC Zステージ
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【ナノテクノロジー向け】対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
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