ピエゾポジショニングシステム
ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー１～６軸 ○顕微鏡用Ｚ軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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【ナノテクノロジー向け】対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノメートル分解能、最大800 µm移動量のフォーカススキャナ P-725.xCDE2
最終更新日
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【半導体製造向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。半導体製造装置向け高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【光学調整向け】高精度パラレルキネマティクス P-733.2
再現性±1nm、XY軸100µmストローク。透過光光学系に最適な高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
最終更新日
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【半導体検査向け】P-725.xCDE2 フォーカススキャナ
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
最終更新日
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【フォトニクス向け】高速チップ/チルトピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
最終更新日
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【光学向け】大偏向角チップチルトピエゾステージ S-330
高速ステアリングミラー用途に最適な高ダイナミクスチップチルトステージ
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【光学調整向け】超音波ピエゾモータ搭載XYステージ U-723
光学用途の高精度位置決めに。小型・分解能 10 nm、電源OFF時セルフロック。
最終更新日
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【顕微鏡向け】静電容量センサー内臓の小型X軸ピエゾステージ
顕微鏡試料のナノ精度走査に。0.1nm分解能と高リニアリティで安定した位置決めを実現
最終更新日
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【光学分野向け】NanoCube 6軸ピエゾシステム
6軸ナノポジショニングで光学系の微細調整を実現
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【バイオテクノロジー向け】PIHera XYピエゾステージ
細胞操作・ライブセル観察に最適。サブナノ精度で安定したXY位置決めを実現。
最終更新日
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【顕微鏡向け】PIHera XYピエゾステージ
最大1800µmの長ストロークと、静電容量センサーによる優れた精度で顕微鏡のサンプル位置決めに最適
最終更新日
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【光学調整向け】可変ストローク・多軸対応ナノポジショナー
光学系の微調整に最適。0.1nm分解能の高精度ナノポジショナー
最終更新日
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【半導体製造装置向け】ピエゾナノポジショナー
44 mm角のコンパクト設計。120 µm動作量と0.2 nm分解能を実現するピエゾナノポジショニングステージ
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【光学調整向け】コンパクト2軸ナノポジショナ
44mm角・最大120µmストローク・0.2nm分解能の高精度ナノポジショナー
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【光学向け】分解能最大0.2nm ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、光学系の焦点調整をナノレベルで実現
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【精密測定向け】44mm角・小型ピエゾステージ P-611.Z
44mm角の筐体で、高さ計測をナノレベルで実現。
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【半導体製造向け】高精度ピエゾナノポジショナー P-611.1
ナノメートル精度の位置決めを、コンパクトかつ高コストパフォーマンスで実現
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【顕微鏡向け】P-611.1ピエゾナノポジショナー
低価格・コンパクト設計で顕微鏡の走査をサポート
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【精密機械組立向け】ピエゾナノポジショナー P-611.1
従来のモーターステージでは実現できないナノ精度組立に最適
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【顕微鏡向け】走査型顕微鏡に最適なXYピエゾスキャナ P-734
平坦度5 nm・分解0.3 nm、高速＆高精度動作を実現するXY軸ピエゾスキャナ
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