ピエゾポジショニングシステム
ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー１～６軸 ○顕微鏡用Ｚ軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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【光計測向け】長ストローク対物フォーカス P-725.xCDE2
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 高速・高精度PIFOCフォーカススキャナ
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【半導体検査向け】P-725.xCDE2 フォーカススキャナ
サブナノ分解能・最大800 µmストローク対応 半導体検査装置向け高精度Zフォーカススキャナ
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【フォトニクス向け】高速Tip/TiltピエゾステージS-331
共振周波数10 kHz。高速・高分解能を両立するフォトニクス向けTip/Tiltステージ
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【顕微鏡向け】U-723 XY軸小型リニアステージ
顕微鏡のサンプル位置決めに。高精度、省スペース、セルフロック。
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【顕微鏡向け】静電容量センサー内臓の小型X軸ピエゾステージ
顕微鏡試料のナノ精度走査に。0.1nm分解能と高リニアリティで安定した位置決めを実現
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【光学分野向け】NanoCube 6軸ピエゾシステム
6軸ナノポジショニングで光学系の微細調整を実現
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【バイオテクノロジー向け】PIHera XYピエゾステージ
細胞操作・ライブセル観察に最適。サブナノ精度で安定したXY位置決めを実現。
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【顕微鏡向け】PIHera XYピエゾステージ
最大1800µmの長ストロークと、静電容量センサーによる優れた精度で顕微鏡のサンプル位置決めに最適
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