ピエゾポジショニングシステム
ピエゾポジショニングシステム
○ナノ制御ポジショニング ピエゾスキャナー１～６軸 ○顕微鏡用Ｚ軸 ピエゾスキャナー(PIFOC) ○コントローラー ○静電容量型センサー
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対物レンズフォーカススキャナ｜重い高NA対物でも高速Z制御を維持
210g負荷時でも560Hzを維持し、共焦点・超解像顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
最終更新日
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ピエゾZステージ｜高速フォーカス制御で観察品質を維持
最大250µmストロークとミリ秒応答で、共焦点・蛍光顕微鏡のZ観察を高速化
最終更新日
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ピエゾナノアクチュエータ｜直進性を維持 0.1nm分解能ステージ
実可動部の直接計測により、干渉計・フォトニクス用途の微細位置ズレを低減
最終更新日
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ナノポジショニングステージ｜軌道再現性を維持する0.1nm分解能
Pitch/Yaw ±1µradの高直進性で、干渉計・走査型顕微鏡の光軸ズレを低減
最終更新日
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小型リニアピエゾステージ｜省スペースでも位置再現性を維持
44mm角の小型筐体で、顕微鏡・半導体試験向け微細位置補正に対応
最終更新日
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0.1nm分解能ピエゾステージ｜長距離位置決めの再現性を保つX軸
最大1800µmストロークと実位置直接計測により、干渉計・光学アライメントの位置ズレを低減
最終更新日
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多軸ピエゾスキャナー｜大開口でも微細走査再現性を維持
66mm開口とXYθz補正により、リソグラフィ・光学検査時の位置ズレを低減
最終更新日
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XYZナノポジショニング｜多軸動作でも軌道再現性を維持する機構
±1nm再現性と50mm開口で、マスク／ウェハ位置決めや透過光観察を安定化
最終更新日
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XYピエゾスキャナ｜高速平面走査でも軌道平坦性を維持
平坦度5nm・0.3nm分解能で、表面形状解析や半導体位置決めの測定誤差を低減
最終更新日
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XY/XZピエゾステージ｜光学位置ズレを抑える2軸補正機構
0.2nm分解能と120µm動作量で、干渉計・光学調整の位置再現性を維持
最終更新日
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XYZピエゾステージ｜大開口でも走査再現性を維持する機構
66mm開口とXYZ最大300µm動作により、透過光観察とウェハ位置決めを安定化
最終更新日
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小型Z軸ピエゾステージ｜高速Z制御でもフォーカス再現性を維持
0.2nm分解能と120µm動作量により、顕微鏡の高速フォーカス制御を安定化
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Tip/Tiltピエゾステージ｜高さと角度ズレを同時補正する機構
Z最大200µm＋2mrad補正により、干渉計・光学調整時の位相ズレを低減
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ピエゾZステージ｜高速Z制御でもフォーカス再現性を維持
1kHz級共振と0.1nm分解能により、共焦点顕微鏡の高速Zスキャンを安定化
最終更新日
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チップチルト｜広範囲走査でもビーム安定性を維持するピエゾ機構
20mrad超の大偏向角とサブミリ秒応答により、高速レーザースキャンを安定化
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PIMag リニアモーターコントローラ『C-413』
PIMagボイスコイル駆動のためのデジタルモーションコントローラ。幅広いサポート機能が搭載
最終更新日
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半導体検査の位置決め品質を維持 PICMAWalkアクチュエータ
サブナノ分解能と50N高推力により、高速動作時でも微細位置ズレを抑制
最終更新日
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XYZピエゾステージ｜高速3軸補正でも位置再現性を維持
0.4nm分解能と100µm XYZ動作により、光軸調整と微細走査を安定化
最終更新日
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ビームステアリング｜ビーム位置安定性を維持するTip/Tilt
±5mradを3msで高速収束。レーザースキャニングや画像安定化時の照射位置ズレを低減
最終更新日
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小型XYステージ｜微細サンプルの位置再現性を維持するピエゾモータ
42×42mmの省スペース設計。顕微鏡・バイオ用途で±0.2µmの高再現位置決めを実現
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク、最小0.1 nm分解能のナノポジショニング
最終更新日
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【計測機器向け】ナノポジショニングステージ P-752
最大35 µmストローク×0.1 nm分解能の高精度ナノポジショニング
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】ナノポジショニングステージ P-752
バイオ解析に最適な高精度ナノポジショニングステージ
最終更新日
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【光学調整向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【顕微鏡向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小走査に
最終更新日
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【ナノテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【バイオテクノロジー向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能のコンパクト・ピエゾステージ ― 顕微鏡下の微小位置決めに
最終更新日
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【精密測定向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【フォトニクス向け】ピエゾナノアクチュエータ P-753
最小0.1 nm分解能、最大38 µmストロークのコンパクト・ピエゾステージ
最終更新日
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【半導体向け】0.1nm分解能 小型X軸ピエゾステージ
半導体製造における高精度位置決めを実現。素早く正確な整定動作
最終更新日
