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PIHeraピエゾリニアステージP-620.1~P-629.1

ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ。ストローク50~1800μm

単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50~1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。 【特徴】 ○ストローク50~1800μm ○高精度、低コスト ○0.1nmの分解能 ○静電容量センサーを内蔵 ○0.02%の位置決め精度 ○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○X、XY、Z、XYZバージョン ○真空対応バージョンも用意 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.pi-japan.jp/pztstg.html

基本情報

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型番・ブランド名

PIHera(R)ピエゾリニアステージ P-620.1~P-629.1

用途/実績例

応用例 ・干渉計 ・顕微鏡による検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術

PIHeraピエゾリニアステージ P-620.1-P-629.1

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【ポジショニングに最適!】ピエゾフレクシャーステージ/高速スキャニングシステム

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取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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