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PIHera P-620.1/629.1 シリーズはフレクシャガイドとPICMA(R)ピエゾを組み合わせた1軸ナノポジショナです。 50〜1800 µmのストロークをもち、最小0.1 nm分解能を有し、内蔵静電容量型センサーで実可動部を測定することで、リニアリティエラー0.02 %を達成します。 フレクシャーガイドで、摩耗部がなく高剛性で優れた真直度、長期安定性に優れます。 X・XY・Z・XYZ構成にも拡張できるため、顕微鏡試料走査、光学アライメント、干渉計測などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

・ストローク50～1800μm ・高精度、低コスト ・0.1nmの分解能 ・静電容量センサーを内蔵 ・0.02%の位置決め精度 ・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、XY、Z、XYZバージョン ・真空対応バージョンも用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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PIHera(R)ピエゾリニアステージ P-620.1～P-629.1

応用例 ・干渉計 ・顕微鏡による検査 ・ナノポジショニング ・バイオテクノロジー ・品質保証試験 ・半導体技術