高推力PICMAWalkアクチュエータ N-331
最大速度12 mm/s、50 Nの駆動力、ナノ位置決め動作の組込みアクチュエータ
N-331 PICMAWalkは、ピエゾ素子のナノ分解能とステッピング動作を融合したウォーキングドライブ・リニアアクチュエータです。 動作量は、25mm、50mm、100mmタイプがあり、駆動力50N、保持力60Nをもちます。 PiezoWalk(R)ウォーキングドライブは、複数のピエゾアクチュエータが歩行運動を行い、ランナーの送り動作につながります。 アクチュエータの制御により、1ナノメートル未満の分解能で最小のステップおよびフォワードフィードモーションが可能になります。 インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度な位置測定を行います。また、10⁻9 hPa真空対応アクチュエータも対応します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。
基本情報
【特長】 ■PICMA技術による堅牢なウォーキングドライブ ■可変ランナー長さ:25mm~100mm ■最大5kgの荷重を正確かつナノメートルで正確に位置決め ■最大2kgの好適な減結合荷重 【ラインアップ(抜粋)】 ■N-331.10 ■N-331.20 ■N-331.40 ■N-331.13 ■N-331.23 ■N-331.43 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途/実績例
【用途】 ■顕微鏡 ■オートメーションでの使用 ■フォトニクス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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