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44mmで120µm動作の小型Z軸ピエゾステージ P-611.Z

44 mm×44 mm の筐体で 120 µm 動作の Z 軸ピエゾナノステージ

Z軸の動作で、ひずみゲージを搭載するモデルは、ヒステリシスとドリフトを高精度に補正します。 Closed Loopタイプは、2nm分解能で、0.1%のリニアリティを実現。 摩耗ゼロのフレクシャガイドは、摩擦、摩耗、バックラッシュがなくナノレベルで動作します。 また、X軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸バージョンのステージもございます。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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基本情報

【特徴】 ・コンパクト設計:設置面積はわずか44 x 44mm ・ストローク~120μm ・分解能~0.2nm ・低コストの機構/電子システム構成 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

価格情報

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用途/実績例

応用例 ・フォトニクス/集積光学 ・マイクロ機械加工 ・半導体試験

取り扱い会社

ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ&アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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