P-5x8シリーズ ピエゾZ/チップ/チルトステージ
最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、 オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、 最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。 【特徴】 ○1軸および3軸バージョン ○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 （オープンループは～240μm/2.4mrad） ○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ○センター開口部66 x 66mm ○静電容量センサーによる高いリニアリティ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
基本情報
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
****** お気軽にお問い合わせください
納期
型番・ブランド名
P-518、P-528 ピエゾZ/チップ/チルトステージ
用途／実績例
応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
