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P-5x8シリーズは、チップチルト付きピエゾナノステージ P-518.TCD とロングストローク版 P-528.TCD/ZCD を同一プラットフォームで展開します。 高信頼性PICMAピエゾセラミックス、フレクシャーガイド、パラレルキネマティクスと静電容量式センサで システム分解能 0.8 nm、リニアリティエラ― 0.03 %を実現。 66 × 66 mm の大開口が干渉計測や透過光アプリに適し、耐荷重50Nをもち、半導体検査・フォトニクス、顕微鏡、高精度アライメントに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

・1軸および3軸バージョン ・クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現 　（オープンループは～240μm/2.4mrad） ・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・センター開口部66 x 66mm ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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P-518、P-528 ピエゾZ/チップ/チルトステージ

応用例 ・各種計測 ・干渉計 ・光学 ・走査型顕微鏡 ・マスストレージ装置試験 ・レーザーテクノロジー ・マイクロ機械加工