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P-611 シリーズはサイズが44mmの小型ナノポジショナステージです。 ・XY、XZ軸　各 120 µmの動作量 ・Openloop分解能：0.2nm ・ひずみゲージフィードバックセンサーも対応（分解能2nm） ・耐荷重15N ・Z軸のみ（P-611.Zx）、XYZ軸（P-611.3x）のモデルも用意 用途：干渉計測、顕微鏡、ナノポジショニング、バイオテクノロジー、マニピュレータ、フォトニクス、ファイバーポジショニング、半導体技術。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

【特徴】 ・コンパクト設計：設置面積44 x 44mm ・ストローク～120 x 120μm ・分解能～0.2nm ・低コストの機構／電子システム構成 ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命 ・X、ZおよびXYZバージョンを用意 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

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応用例 ・光ファイバ位置決め ・半導体試験 ・マイクロ機械加工 ・マイクロマニピュレーション ・MEMS製造／試験 ・フォトニクス／集積光学