ピーアイ・ジャパン株式会社 公式サイト

P-561〜563シリーズは、パラレルキネマティクス構造と静電容量式センサを採用したXYZ軸動作ピエゾナノポジショナ。 動作量は、XYZ 各100／200／300 µm（モデル別）で再現性は±2nm、リニアリティ：0.03％をもちます。 開口は、66×66 mmで透過光・レーザ光路を確保します。 ダイレクト駆動タイプは、XY軸45µｍ、Ｚ軸15µｍ動作で、1000Hzの無負荷時共振周波数を持ち、高分解能で高速応答が実現します。 また、PICMAピエゾセラミックスは、オールセラミックスで絶縁されており対湿度性をもち、高信頼性、長寿命を確保します。半導体検査、超解像顕微鏡、フォトニクス調整などに最適です。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御 ・動作軸：XYZ軸 ・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ ・静電容量センサーによる高いリニアリティ ・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム ・比類のないスキャニング平坦度 ・高ダイナミックなXYZバージョンを用意、最大6軸のカスタムタイプが可能 ・センター開口部66 x 66mm ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

お気軽にお問い合わせください

お気軽にお問い合わせください

P-561・P-562・P-563 PIMars(TM) XYZピエゾシステム

応用例 ・走査型顕微鏡 ・マスク／ウェハー位置決め ・干渉計 ・各種計測 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション