エアベアリング回転ステージ PIglideA-62x高精度モデル
摩擦ゼロの回転精度。平面度200nm以下で光学検査に最適
基本情報
・仕様・スペック 512 文字 ・クリーンルーム対応 ・モーションプラットフォーム直径50mm ～ 300mm ・最大負荷容量4170N ・偏心率および平面度<200 nm ・垂直または水平方向に設置可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい
価格帯
納期
用途／実績例
・精密光学部品のアライメント調整 ・測定機器における高精度回転ステージとして ・光通信部品の検査工程 ・画像センサーのキャリブレーション装置 ・ウエハーや光学素子の等速回転スキャン ・クリーンルーム内でのナノ精度位置決め ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
