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A-63xシリーズ　高精度エアベアリング回転ステージ

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A-63xシリーズ　高精度エアベアリング回転ステージ

薄型で、駆動面積と耐荷重の違いで4種類のサイズ違いがあり、エンコーダーも2種類対応の高精度エアベアリング回転ステージです。

エアベアリング回転ステージは、エア浮上ガイドのため一般的な メカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません。 そのためスティックスリップ、摩擦熱がなく、高速駆動で、 高い平坦度＆わずかな偏芯のため、非常に高精度位置決めが可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

PI社　エアベアリングテクノロジー

基本情報

動作範囲：> 360° 駆動面の直径：150mm～350mm 偏芯：100～200nm 平坦度：50－75nm Wobble：1μrad～2µrad 耐荷重：190～1200N 内蔵センサー：インクリメンタル・アブソリュート 最大速度：500rpm

価格帯

納期

用途／実績例

・トモグラフィー ・ビームラインシステム ・高精度計測＆検査 ・超精密計測装置 ・校正 ・XCTスキャニング

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エアベアリング回転ステージ　A63x

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ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。

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