エアベアリング
エアベアリング
ピーアイのエアベアリングは、非接触エアベアリングとダイレクトドライブにより摩擦ゼロの滑らかな動作を実現。ナノレベル精度と優れた直進性で高精度の位置決めに対応しています。
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【精密加工向け】Z・チップ/チルト対応エアベアリング A-523
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ
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リニアステージ（5m/s高速搬送／AOI検査）高精度スキャン向け
ウェーハ・X線検査向け。高速搬送時も0.1µm動作で測定位置精度を維持
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【電子部品実装向け】薄型設計・最大5m/s 高速リニアステージ
電子部品実装の高速化を実現する、薄型・高精度リニアモータステージ
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無料ウェビナー：高精度・高速モーション用エアベアリング技術を深堀
高精度・高速モーションシステム向けエアベアリングの深掘り｜PI USAによるウェビナー動画
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