【精密加工向け】Z・チップ/チルト対応エアベアリング A-523

1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージ

最終更新日 2026年03月17日

132×94mmのスリムな筐体 高速リニアステージ V-857　

132mm幅、最大速度5 m/s、0.1 µm最小動作量のリニアモータステージ

最終更新日 2026年03月17日

【電子部品実装向け】薄型設計・最大5m/s 高速リニアステージ

電子部品実装の高速化を実現する、薄型・高精度リニアモータステージ

最終更新日 2026年03月17日