A-688型 エアベアリング大開口回転ステージ
薄型で最大260mmの開口を持つ高精度エアベアリング回転ステージ。一般的なメカニカルガイドによる摩擦や部品精度の影響を受けません
基本情報
動作範囲:> 360° 駆動面の直径:365mm 開口:260mm 偏芯:300nm 平坦度:175nm Wobble:1μrad 内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート 最大速度:500rpm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
A-688型
用途/実績例
・トモグラフィー ・ビームラインシステム ・高精度計測&検査 ・超精密計測装置 ・校正 ・XCTスキャニング
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