直動エアベアリングステージ PIglideA-121高精度モデル
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
基本情報
・スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・可動部サイズ：115mm×115mm ・最大350mm のトラベルレンジ ・60mmのロープロファイル ・分解能1nm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
・半導体検査装置の高精度位置決め ・光学素子のアライメント・組立工程 ・X線CTや顕微鏡システムの試料移動制御 ・表面形状測定器やナノプロファイラ搭載ステージ ・クリーンルームでの精密搬送システム ・科学研究機関での高分解能移動プラットフォーム ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッド位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に 最新技術を提供している多彩なラインナップを是非ご覧下さい。
