高性能・省スペース設計 直動エアベアリングステージ A-121
非接触・無摩耗で長寿命、ナノメートル単位の滑らかな動作を実現
PIglide A-121は、磁気ダイレクトドライブとエアベアリング技術を融合した直動リニアステージです。 摩擦やバックラッシュが一切なく、優れた真直度（最大±50nm）と繰返し精度（最大±10nm）を実現します。 非接触構造により長寿命でメンテナンスも最小限。 最大行程500mm、最大速度500mm/sまで対応。高精度な位置決めや速度制御が求められる半導体検査装置や精密測定装置に理想的な構成です。
基本情報
・スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ・クリーンルーム対応 ・可動部サイズ：115mm×115mm ・最大350mm のトラベルレンジ ・60mmのロープロファイル ・分解能1nm ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
A-121 PIglide AT1 エアベアリングリニアステージ
用途／実績例
・半導体検査装置の高精度位置決め ・光学素子のアライメント・組立工程 ・X線CTや顕微鏡システムの試料移動制御 ・表面形状測定器やナノプロファイラ搭載ステージ ・クリーンルームでの精密搬送システム ・科学研究機関での高分解能移動プラットフォーム ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。