ピーアイ・ジャパン株式会社 公式サイト

D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。

・距離／動き／振動の非接触測定 ・絶対位置検知 ・サブナノメートルの分解能 ・測定範囲～ 500μm ・組み込みが容易 ・高周波数帯域対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

PISeca

・半導体製造／試験および測定 ・精密機械加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。