高い位置分解能を実現・非接触測定 単電極センサー D-510
分解能1 nm未満・最大帯域10 kHzの非接触変位計測センサー
D-510 PISecaは、最大測定範囲500µm・分解能1nm未満を実現する単一電極静電容量センサーです。 センサープローブはLEMOコネクタ付きで取り付けが容易。 ガードリング電極によって電場の均一性が確保され、高リニアリティ（最大0.1%）を達成しています。 E-852.10等の専用エレクトロニクスと組み合わせることで、静的・動的分解能ともに優れたナノメートル級の変位測定が可能です。
基本情報
・距離／動き／振動の非接触測定 ・絶対位置検知 ・サブナノメートルの分解能 ・測定範囲～ 500μm ・組み込みが容易 ・高周波数帯域対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
PISeca 単一電極静電容量センサー D-510
用途／実績例
・半導体製造／試験および測定 ・精密機械加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
Physik Instrumente（PI）は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。