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PILine(R)超音波ピエゾモータを採用した『U-651』は、わずか14 mmの高さで、>360 °の回転動作するステージです。 最大速度540 °/sで、0.3 N·mトルク、光学角度エンコーダで、12 µradの最小動作を実現。 φ36 mmの開口で、レーザ光路や配線を通すことも可能。セルフロック機構が通電ゼロでも位置保持。 クロスローラーベアリングで耐荷重は20N。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。

【特長】 ■薄型でわずか14mmの高さ ■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定 ■最高速度540°/秒 ■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク ■開口部の直径は36mm ■真空対応タイプ（10-6pha）オプションであり 【モデル】 ■U-651.03/03V ■U-651.04/04V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。