プラズマ・サーモ・ヨーロッパ、人体埋め込み型デバイスのa-SiCコーティングの開発
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
未来の半導体・成膜・エッチング技術の可能性を探求する拠点である、プラズマ・サーモ・ヨーロッパ（Corial社）社は、 The Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP) （フランス）と新たな取り組みを開始いたしました。 a-SiCによる埋め込み型デバイス（皮質電極等）のコーティングに関しての開発です。 近年、アモルファスシリコンカーバイド（a-SiC）は、耐腐食性に優れた堅牢な材料であり、 埋め込み型デバイスの代替封止層として注目を浴びております。 更に、アモルファスシリコンカーバイド（a-SiC）は、電気絶縁性に優れ、ヤング率が大きいため、 座屈耐性を高めた埋め込みデバイスの作製を可能にします。 今後の開発進捗状況に関しては、2023年アカデミックな発表の場でご紹介する予定です。
