第84回応用物理学会秋季学術講演会～ランチョンセミナーのご案内
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
第84回応用物理学会秋季学術講演会開催期間中の9月20日(水)に 「高アスペクト比トレンチ・ビアの低温洗浄と均一膜形成技術の紹介」と 題して、High Density Radical Flux(HDRF)による低温、ポリマー除去、及び、表面の平坦化事例のご紹介、及び、高アスペクト比構造の成膜技術について ランチョンセミナーを開催致します。
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開催日時 2023年09月20日（水）
12:15 ～ 12:55
- 会場 ■会場：熊本城ホール ■ブース番号：A307 ■住所：〒860-0805 熊本県熊本市中央区桜町3-40 ■最寄り駅 ・市電「辛島町」電停下車 徒歩2分 ・市電「西辛島町」電停下車 徒歩4分
- 参加費 無料 ※参加は応用物理学会講演会参加者に限ります。