■装置事業：半導体業界、フォトマスク業界、ディスク業界及びレンズ業界に対し、 　お客様の用途、製造ライン等に対応した次の各種装置の開発・設計・製造及び販売 ・シリコンウェハー洗浄装置 　(バッチ式カセットレス洗浄装置、枚葉式スピンソニック洗浄装置) ・マスク洗浄装置 ・ディスク洗浄装置 ・レンズ洗浄装置 ・半導体機器用部品洗浄装置 ・上記各種装置のメンテナンス ■機器事業：洗浄装置に搭載する超音波周波数が高い次の各種超音波洗浄機器の 　開発・設計・製造及び販売 ・ファインソニック(メガソニック洗浄ユニット) ・ファインジェット(メガソニック洗浄スプレー) ・ファインスコール(メガソニック洗浄シャワー) ・ウルトラソニック(超音波洗浄ユニット) ・スイープソニック(超音波洗浄ユニット)