製品サービス
製品・サービス
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スピンソニッククリーナー(1)
サブミクロンのパーティクルまでも非接触でウェハー両面を同時洗浄。 ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を実現。 スピンソニッククリーナーは、サブミクロンのパーティクルまでも取り除きます。 さらに工程数をカットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれたパフォーマンスを発揮します。
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カセットレス洗浄装置(1)
品質と省エネを高い次元で両立。 半導体洗浄のリーディング・テクノロジー。 ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。 しかもファインソニック使用で、さらに品質向上。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用したカセットレス洗浄装置は、洗浄におけるカセットの問題点をすべて解決する半導体洗浄の決定版です。
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ディスク洗浄装置(1)
バッチ洗浄とブラシ洗浄の組み合わせで ハイクオリティな洗浄を実現。 メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮します。 カセットレス方式の採用で洗浄能力の向上と省エネルギー化を実現。 バッチ洗浄ユニットとブラシ洗浄ユニットの組み合わせは自在にできます。
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精密洗浄装置(1)
洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現。 あらゆる精密部品・製品の洗浄工程で幅広く導入されている信頼性の高いシステムです。 タッチパネルなどの採用により、操作性・安全性・メンテナンス性がさらに向上。 またシステムの随所にハイグレードなパーツを使用して完成度を高めています。
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ファインシリーズ洗浄ユニット(4)
サブミクロンのパーティクルを750kHz～3.0MHzの高周波でダメージレス洗浄。
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ウルトラソニック洗浄ユニット(1)
先端の超音波テクノロジーで、あらゆる精密洗浄をサポート。