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不透明体の厚み高精度測定なら、Enovasenseの レーザフォトサーマルセンサ。材料に依らず、最小10nmから厚み測定可能。

■厚み測定範囲 　10nm~1mm ■測定精度 　0.5~3%以下 ■ビームスポット径 　φ0.15mm以上 ■測定モード 　位相シフト、振幅 ■製品ラインナップ 　プローブ(ワーキングディスタンス、ビームスポット径）、 　レーザー（波長、パワー）にて複数ラインナップあり

フィルムやコーティング、非接触の厚み測定を安価な距離センサーで。斜面にも強く、距離方向分解能20nmを実現！

【CHRocodile C】フットプリントの少ないプローブ一体型タイプ ■特徴 ・スキャンレート４KHz ・光源：白色LED光源 ・測定レンジ： 200um~10mmで５種類　　　　　 ・厚み測定で単層、複数層まで測定可能（最大3層）まで ・同期I/O機能付 ・IF:Ethernet/RS422 ・HS(高感度モデル）あり ・外付ボックスにてエンコーダー、アナログ2ch取込可能 ・外寸 99 x 65 x 47 mm (プローブ無し） ・重量 440g ■特徴 【CHRocodile Mini】測定部省スペースのプローブ別体タイプ ・スキャンレート４KHz（オプションで10kHz) ・光源：白色LED光源 ・測定レンジ： 4mm 10mmの2種類　　　　　 ・厚み測定で単層、複数層まで測定可能（2層、オプションで４層）まで ・同期I/O機能付 ・IF:Ethernet/RS422 ・Mini+モデルでは、アナログ出力2ch、エンコーダー3軸入力対応 ・外寸 95 x 106 x 95 mm (コントローラ） ・重量 500g(Mini+は550g)

高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフォトサーマル式センサ

■厚み測定範囲 　~1mm ■測定精度 　1~3%程度 ■空間分解能 　最小28um ■測定モード 　位相シフト、振幅 ■製品ラインナップ 　HR(高解像度）、LF(広視野）の２種類

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高速サンプリング。加工中のモニタリング用途に最適。

【その他の特長】 ■測定レンジ： 2μm～1000μm (n=1) 0.5μm～200μm (n=3.8など) ■分解能：最大3nm(n=1) ■測定周波数: 5kHz ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。

【その他の特長】 ■測定レンジ： 32μm～3900μm (n=1, 線形性1um) 16μm～1900μm (n=1, 線形性0.35um) ■分解能：最大1nm(n=1) ■測定周波数: 70kHz ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

非接触ラインセンサCLS。高精度・高速・広範囲の３次元形状測定。エッジや斜面に適した高許容角度性。ウエハエッジ測定実績多数

【アプリケーション】 非接触による3次元形状測定が可能です。 接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。 ■家電（スマートフォン） ・LCDガラス ・OLEDマスク検査 ・表面の細かいスクラッチ等のキズ ・ワイヤボンディング ・ARグラス ■半導体製造プロセス ・ウエハエッジ形状測定 ・ウエハエッジ欠陥検査 ・ウエハダイシング溝外観検査 ・BGA検査 ・ICパッケージや回路検査 ■自動車関係 ・バルブ検査 ・車の内装 ・ガラス検査 ・エアバッグの溶接ビードの検査

「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの厚さを計測できます

【その他特長】 ■オペレーターが高い研削レートを達成でき、結果として加工時間が著しく短縮 ■工程の最後に再びレートを下げ、ウエハーの滑らかな仕上げを維持可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応

【その他の特長】 ■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)　 　　　　　　　2DW500 30μm～4000μm(n=1) 　　　　　　　2DW250 15μm～2000μm(n=1) ■分解能：最大1nm(n=1) ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

12'ウエハ全面検査を高速化　ウエハ全数検査にも使用可能

■概要 　・ハードウェア（筐体、光学厚みセンサ、エリアスキャナ、電気キャビネット）、 　　ソフトウェア（SEMI準拠ソフトウェア）一体型のシステム。 　・最大70kHzの高速測定 (XY 160umピッチで、12'ウエハを約2分で測定） 　・Z分解能1nm~ ■厚み測定範囲 　下記光センサにより、厚み測定範囲が変わります。 CHRocodile 2 IT DW 250: 15~1500um CHRocodile 2 IT DW 500: 26~2500um CHRocodile 2 IT DW 1000: 66~7200um *厚みは光学長。Si厚み換算は、Siの屈折率で、上記厚みを割ってください。

厚み・形状測定の高精度・高速測定の組み込み光センサ

■シングルポイントセンサ 　CHRocodile 2S 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大70kHz ■デュアルポイントセンサ 　CHRocodile 2DPS 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大10kHz ■デュアルポイントセンサ(ハイパワー） 　CHRocodile 2DPS HP 厚み測定範囲： 2~180um(光学長） 　 距離測定範囲： 0.1~38mm(プローブに依る） Z分解能: 数nm~ 測定周波数: 最大40kHz