光学式エリアスキャナFlying Spot Scanner310

12inchウエハの全面厚み測定が可能。走査ステージレスで、振動の影響無しで高速測定。オンライン、オフライン、ウエハ検査用途に。

Flying Spot Scanner310』は、XY2軸のガルバノミラーにより広範囲（～φ310)のエリアスキャンができる光学式測定器です。ステージ走査が不要なため、ステージからの振動の影響もありません。分光干渉原理により、厚み測定、寸法形状測定、表面の欠陥検査ができます。また、入射・反射が同軸光学系のため、光沢面でも良好な結果を得ることが可能です。【特長】　■広範囲のエリアスキャン φ310mm 　■高分解能　XY20um 　　　ビームスポット径40um, 分光干渉方式による高Z分解能　■XYステージ不要でステージ振動無し　　　ガルバノミラーによるエリアスキャン　■開発コスト低減、開発納期短縮　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)あり　■用途　　　12インチウエハのウエハ全面厚み測定、貼り合わせウエハ厚み測定、ボイド検査 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

1000万円 ~ 5000万円

納期

応相談

型番・ブランド名

Flying Spot Scanner FSS310

用途／実績例

12インチウエハのウエハ全面厚み測定貼り合わせウエハ厚み測定貼り合わせウエハボイド検査

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エリアスキャナ Flying Spot Scanner 310

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プレシテック製CHRocodileセンサラインナップ分光干渉式厚み測定

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取り扱い会社

プレシテック・ジャパン株式会社

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電話番号・住所

プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社高品質製品から直接その利点を得ることができます。光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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