CHRocodile 2 SX 光学式広範囲厚み測定センサ

光学式センサで、Si0.5~200umの広範囲の厚み測定。5kHzの高速サンプリング。加工中のモニタリング用途に最適。

非接触の光学厚み測定。高精度が求められる半導体ウエハの厚み測定でも適用可能。新製品『CHRocodile 2 SX』は、ウエハやコーティングなど材料厚みを非接触測定できる装置です。最大5kHzと高速サンプリングが可能なため、インラインでも適用できます。Si等の半導体ウェハー厚み測定をはじめ、フイルム、樹脂、ガラス、太陽電池等の厚み測定も可能です。特に、ウエハグラインディング中に厚みモニタリングしたい場合には、Siウエハで200um~0.5umまで測定ができます。【特長】　■幅広い厚み測定範囲、様々な材質に対応　　　豊富なプローブラインナップで、厚みは、光学長で薄膜（数2um)～厚膜(1000um) 　　　　　　　Siで0.5~200umまで対応。　■高分解能（サブミクロン最小3nm @ 光学長）　■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、　　　装置組込み用のソフト開発キット（DLLなど)も用意　■半導体業界で豊富な実績 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

基本情報

【その他の特長】 ■測定レンジ： 2μm～1000μm (n=1) 0.5μm～200μm (n=3.8など) ■分解能：最大3nm(n=1) ■測定周波数: 5kHz ■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

100万円 ~ 500万円

納期

応相談

型番・ブランド名

CHRocodile 2 SX

用途／実績例

【用途】 ■Siなど等半導体ウェハー厚み測定　フイルム、樹脂、ガラス、液晶ギャップセル、太陽電池等の　厚み測定やドープウェハー測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。【用途・測定項目・メリットなどキーワード】非接触センサ、光センサ、光学センサ、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、形状、計測、測定、検査、高速、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、半導体、ウエハ、ウエハ貼あわせ、Siウエハ、透明、透明体、光沢、鏡面、簡単

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取り扱い会社

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電話番号・住所

プレシテックは、レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリストです。弊社は単なるシステムおよびコンポネントのサプライアーではなく顧客の円滑な加工プロセスの専門的なパートナーです。弊社は基礎段階からご相談に応じ、顧客と共に顧客の要望ならびに目的を的確にコンサルトします。独自の加工プロセスでの成功の鍵が展示、監視、加工処理、制御の4構成であることを把握しています。これによって初めて、顧客の用途に適切なソリューションを提供することができるのです。数十年来の経験からだけではなく、レーザー加工ヘッド、品質監視システムならびに間隔/厚み測定用の光学的測定システム等の弊社高品質製品から直接その利点を得ることができます。光学センサーは最高級の精密性とダイナミックな適合性が特徴です。さらに、高速測定でも正確な値を検出します

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